機能を付加する金属研磨

研磨加工は美観の向上や表面の滑らかさ、清潔さの改善などが着目されます。
最先端の御エレクトロニクス製造装置などに用いられる重要部品には、光拡散制御や熱拡散の向上、輻射熱反射効率向上、繰り返し摩耗特性の向上など、様々な機能を付加する必要があります。 
機能を付加する研磨加工技術はこのような特性を複合研磨を施すことで確立していく技術です。数値管理を行いながら均一で安定した表面を物理的に削る・叩く・磨く・覆う・傷つける等の手法で形成してまいります。
文献等では記載されていない微妙な処理方法が装置の性能を向上させ特許には表れてこない性能のアドバンテージを提供いたします。

機能性付加研磨の実績
1.真空装置用 防着板等のGBB処理・ABB処理
2.真空チャンバー アルマイト用 GBB処理 ABB処理
3.露光装置ステージ(G6,G7)アルマイト用 ABB処理
4.プラズマ装置用部材(G6、G8) 複合機能処理
5.純Ni電極 白金鍍金用 研磨処理
6.化学プラント還元電極用研磨処理
7.極薄ステンレス鏡面処理(MIN0.05mm)
8.精密セラミックステージ コンタミ クリーニング再生処理
9.ステンレス薄板減肉処理(1.0mm→0.95mm)
10.太陽電池用CVD装置部品表面処理
                   等